Lam Research Corp 価格

ラムリサーチコーポレーションは、集積回路の製造に使用される半導体加工装置の設計、製造、販売、リファービッシュ、サービスを行っています。同社は、タングステンメタライゼーション用のコンフォーマルフィルム堆積に使用されるALTUSシステム、銅配線の遷移に適した銅ダマスカン製造を可能にする電気化学堆積製品のSABRE、フィルム処理用の紫外線熱処理製品のSOLA、そしてVECTORプラズマ強化CVD ALD製品を提供しています。また、高密度プラズマ化学蒸着製品のSPEEDギャップフィル、絶縁膜ソリューション用の単一ウェーハ原子層堆積製品のStrikerも取り扱っています。さらに、絶縁膜エッチング用のFlex、導体エッチング用のKiyo、シリコン貫通ビアエッチング用のSyndion、金属エッチングプロセス用のVersys金属製品も提供しています。加えて、ダイの歩留まり向上のためのCoronusベベルクリーン製品、さまざまなウェーハ洗浄に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、そして半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量測定用のMetryx質量計測システムも販売しています。同社の製品とサービスは、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、その他国際的に提供されています。ラムリサーチコーポレーションは1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。